
砂經過多步驟的過程被純化並轉化為電子級矽。接著,將其熔化並拉出矽種晶體,形成單晶矽的圓柱形晶棒。該晶棒會被切割成薄片(晶圓),在接下來的多個步驟中,將在其表面上沉積電路來製造電腦處理器。
第一步:將砂轉化為矽
砂的主要成分是二氧化矽(也稱為矽),這是製造處理器的起點。建築業使用的砂通常因雜質而呈現黃色、橙色或紅色,但用於製造矽的砂是一種更純的形式,稱為矽砂,通常是通過採石獲取的。要從二氧化矽中提取元素矽,必須進行還原(即去除其中的氧)。這是通過將二氧化矽和碳的混合物在電弧爐中加熱至超過2000°C的溫度來完成的。碳與熔融二氧化矽中的氧反應,生成副產物二氧化碳和矽,矽會沉積在爐底。剩餘的矽會用氧處理,以減少任何鈣和鋁的雜質。這一過程的最終結果是冶金級矽,純度高達99%。然而,這還遠不夠純,無法用於半導體製造,因此下一步是進一步提純冶金級矽。矽被研磨成細粉,並在300°C的流化床反應器中與氣態氫氯酸反應,生成液態矽化合物三氯矽烷。雜質如鐵、鋁、硼和磷也會反應生成它們的氯化物,這些氯化物會通過分餾去除。純化後的三氯矽烷被氣化並與氫氣在1100°C下反應,從而回收元素矽。在反應過程中,矽沉積在一根經過電加熱的超純矽棒表面,生成矽錠。最終結果稱為電子級矽,純度達到99.999999%。
第二步:製造圓柱形晶體
雖然電子級矽的純度非常高,但它具有多晶結構。換句話說,它由許多小矽晶體組成,這些晶體之間有稱為晶界的缺陷。由於這些缺陷會影響局部電子行為,多晶矽不適合用於半導體製造。要將其轉化為可用材料,必須將矽轉化為具有規則原子結構的單晶。這一轉變是通過柴可拉斯基過程實現的。電子級矽在旋轉的石英坩堝中熔化,溫度保持在剛超過其熔點1414°C。然後,一小塊矽晶體被浸入熔融矽中,並在持續旋轉的同時緩慢拉出。該晶體充當種子,使坩堝中的矽圍繞其結晶,形成單晶矽的圓柱形棒(晶棒)。
第三步:將晶體切割成晶圓
集成電路大致是線性的,也就是說,它們是在矽表面形成的。為了最大化可用於製造晶片的矽表面積,晶棒被切割成稱為晶圓的圓盤。晶圓厚度足以在半導體製造過程中安全處理。